MOCVD工艺模拟系统

• 作者: 刘式墉 刘彩霞 张冶金 曹晓光 汪爱军 陈维友
• 来源期刊: 吉林大学自然科学学报
• 学科: 工学
• 关键词: MOCVD 工艺模拟系统 反应室气流流体力学 化学反应热力学 沉积过程动力学
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 72-74
• 分类号: TN3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-5489.1999.02.026

摘要

报道一个MOCVD全方位综合工艺模拟系统. 该系统包含反应室气流流体力学模拟、化学反应热力学模拟和沉积过程动力学模拟等3个子系统, 它们可以独立运行, 也可以联合运行.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘式墉	吉林大学电子工程系	57	381	11.0	17.0
2	刘彩霞	吉林大学电子工程系	33	129	6.0	9.0
3	陈维友	吉林大学电子工程系	24	82	5.0	8.0
4	张冶金	吉林大学电子工程系	8	16	2.0	3.0
5	曹晓光	吉林大学电子工程系	2	7	2.0	2.0
6	汪爱军	吉林大学电子工程系	6	15	2.0	3.0