一种基于工艺模拟的MEMS断裂可靠度预测方法

• 作者: 唐洁影 宋竞 王磊
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: MEMS 工艺模拟 可靠度 VC++ ANSYS
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 页码范围: 149-151,155
• 页数: 4页
• 分类号: TN406
• 语种: 中文

摘要

提出了基于工艺模拟的断裂失效概率计算方法,充分考虑了非理想形貌对失效概率的影响,使得预测结果更加准确.并利用APDL语言对ANSYS进行二次封装,采用VC++开发了可靠度计算程序,使得整个计算过程简便、高效.