用拉曼波谱分析金刚石膜的内应力

• 作者: 廖克俊 方亮 王万录 郭忠诚 陈星明
• 来源期刊: 重庆大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石 薄膜 化学汽相沉积/拉曼波谱 内应力
• 年，卷（期）: 1999,（5）
• 页码范围: 79-84
• 分类号: O484.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-582X.1999.05.015

摘要

对拉曼波谱测量金刚石薄膜内应力时存在的差异现象进行了分析.研究表明应力方向和晶体取向的未知,导致多晶金刚石薄膜中应力值与拉曼波谱位移量之间的比例系数难以准确选取,是造成计算出的内应力结果不一致的原因之一.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王万录	重庆大学理学院	109	849	16.0	22.0
2	廖克俊	重庆大学理学院	66	513	12.0	19.0
3	方亮	重庆大学理学院	62	513	12.0	18.0
4	陈星明	重庆大学机械工程学院	4	295	3.0	4.0
5	郭忠诚	重庆大学理学院	3	24	1.0	3.0