Ag/Pb(Zr0.53Ti0.47)O3/YBa2Cu3O7-x三端器件构造和性能的研究

• 作者: Yu.Kislinskii 刘保亭 吴非 许波 赵柏儒 郝昭 陈红 陈莺飞
• 来源期刊: 低温物理学报
• 学科: 物理学
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 页码范围: 59-63
• 分类号: O4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3258.1999.01.012

摘要

应用脉冲激光沉积法和光刻技术我们成功地制作Ag/Pb(Zr0.53Ti0.47)O3/YBa2Cu3O7-x(PZT/YBCO) 三端器件. 为了降低矫顽场, 应用变形相界(x≈0.53)的550纳米厚的PZT作为门电极, 通过优化沉积条件和门电极面积小型化(6×10-6cm2), 在64K下三端器件门电极显示了极好的电性能, 低的矫顽场(～37kV/cm)、大的饱和极化强度(60μC/cm2)、剩余极化强度(41μC/cm2)以及击穿电压～3×105V/cm. 对于我们的场效应器件, 在±9V的情况下沟道电阻被调制～3%.