大行程超精密驱动系统及关键技术

• 作者: 华光
• 来源期刊: 机电产品市场
• 学科: 经济
• 关键词: 超精密加工 驱动系统 关键技术 大行程 结构设计 分辨率 制造工艺 摩擦驱动 精密工程 加工技术
• 年，卷（期）: jdcpsc_1999,（11）
• 页码范围: 44-44
• 页数: 1页
• 分类号: F76

摘要

【正】 目前通过鉴定的“大行程超精密驱动系统及关键技术”,采用了国际上最先进的超精密扭轮摩擦驱动概念,为超精密加工技术和精密工程领域的其他技术提供了新型的驱动技术及设备,系统的结构设计、制造工艺和高运动分辨率都达到了先进水平。