WO3基H2S气体传感器的研究

• 作者: 丘思畴 吴正元 吴正华 陈涛
• 来源期刊: 华中理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: WO3膜 掺金 H2S气敏元件 电子束蒸发
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 页码范围: 41-43
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.21
• 字数: 2632字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.1999.01.013

摘要

介绍了电子束蒸发WO3膜和以该膜为敏感材料的H2S气体传感器工艺,分析了膜的灵敏度和膜的稳定性以及掺金和分步热处理对器件性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴正元	华中理工大学电子科学与技术系	3	47	3.0	3.0
2	陈涛	华中理工大学电子科学与技术系	3	79	3.0	3.0
3	丘思畴	华中理工大学电子科学与技术系	1	10	1.0	1.0
4	吴正华	华中理工大学电子科学与技术系	1	10	1.0	1.0