离子束蚀刻微透镜中蚀刻深度允许误差的研究

• 作者: 杨国光 赵光兴 陈洪璆
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 微透镜 离子束蚀刻 误差
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 所属期刊栏目: 光学器件和光学元件
• 页码范围: 113-116
• 分类号: O4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.1999.01.019

摘要

基于衍射光学原理, 获得了微透镜的衍射效率与蚀刻深度误差之间的关系式. 研究表明, 离子束蚀刻中目前采用的时间控制法可满足L=1时的微透镜微加工要求, 但未能满足L>1时的微透镜微加工要求. 对L>1的情形, 需要提高蚀刻深度控制精度以使蚀刻深度的误差小于87 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨国光	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	91	1226	21.0	30.0
2	赵光兴	华东冶金学院自动化系	2	48	2.0	2.0
3	陈洪璆	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	1	9	1.0	1.0