光学外差法检测超光滑表面粗糙度

• 作者: 张美敦 杨建坤 罗忠生
• 来源期刊: 上海交通大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 表面粗糙度 光学外差法 测量光路 均方根值
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 页码范围: 53-56
• 页数: 4页
• 分类号: TH741.3
• 字数: 2345字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1006-2467.1999.01.016

摘要

随着加工技术的发展,超光滑表面粗糙度的测量变得越来越重要.讨论了一种利用光学外差法检测超光滑表面粗糙度测量系统,采用Zeeman效应激光管得到差频光束,提出了新的优化测量光路.该光路仅使用一个半波片改变一路光束的偏振态,不仅克服了以前广泛使用的类似测量系统中光路具有可逆性的缺陷,保证了系统的稳定性,且同时使接收端光束的偏振态方向一致,使干涉信号可见度最大,提高了系统的信噪比和测量精度.采用两光束同心聚焦扫描方法可实现表面粗糙度的绝对测量.光路结构简单,实用性强.通过样品测量研究了本系统的测量稳定性和测量精度.结果表明,系统对表面粗糙度测量精度均方根值小于1 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗忠生	上海交通大学光纤技术研究所	2	43	2.0	2.0
2	杨建坤	上海交通大学光纤技术研究所	1	23	1.0	1.0
3	张美敦	上海交通大学光纤技术研究所	7	79	3.0	7.0