电子工艺

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 表面微机械加工 微电子机械系统 电子工艺 硅微机械加工技术 微型电子机械系统 高度集成 汽车工业 传感器 技术水平 小型化
• 年，卷（期）: 1999,（6）
• 页码范围: 38-39
• 页数: 2页
• 分类号: TN

摘要

【正】 Y98-61442-421 9907388微电子机械系统最新技术水平综述=Microelec-tromechanical systems(MEMS):an overview of currentstateof-the-art[会,英]/Madni,A.M.& Wan,L.A.//1998 IEEE Aerospace Conference Proceedings,Vol.1 of 5.—421～427(PV)讨论了微型电子机械系统(MEMS)的应用和基础。详细介绍了4种主要的硅微机械加工技术:块微机械加工、表面微机械加工、圆片-圆片键合和高纵横尺寸比微机械加工。还讨论了微型电子机械石英速率传感器。这些技术已用于航空航天、军事、工业、医学、电信和汽车工业,以便以成本合算的方式实现小型化高度集成 MEMS。参13