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射频溅射GaxIn1-xAs薄膜的外延生长及其物理性能研究
射频溅射GaxIn1-xAs薄膜的外延生长及其物理性能研究
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摘要：
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文献信息
| 篇名 | 射频溅射GaxIn1-xAs薄膜的外延生长及其物理性能研究 | ||
| 来源期刊 | 上海大学学报(英文版) | 学科 | |
| 关键词 | |||
| 年，卷（期） | 2000,（2） | 所属期刊栏目 | 材料科学与工程 |
| 研究方向 | 页码范围 | 163-166 | |
| 页数 | 4页 | 分类号 | |
| 字数 | 语种 | 英文 | |
| DOI | |||
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