P(VDF-TrFE)膜悬空结构集成热释电线列研究

• 作者: 李坤 李金华 蔡忠龙 陈王丽华
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 化学
• 关键词: 集成热释电线性阵列 热释电传感器 P(VDF-Tr FE)敏感膜 悬空结构
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 单晶、薄膜及其他功能材料
• 页码范围: 104-106
• 页数: 3页
• 分类号: TN215|O631.2+4|TB43
• 字数: 1910字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2000.02.013

摘要

用聚偏氟乙烯-三氟乙烯 [P(VDF-TrFE)]薄膜作16×1集成热释电线性阵列的敏感膜,经退火和7 5 kV/mm场强极化后测得其相对介电常数为12.6,介电损耗约0.01.为了降低热导和热容,提高探测器的探测灵敏度,用KOH作化学腐蚀完全去除了线性阵列下方的硅衬底,形成悬空结构.用锁相放大器测定了该集成热释电线性阵列的电压灵敏度、电流灵敏度和噪声.实测得到最大电压灵敏度为107 V/W,最大探测率约5×106 cmH z1/2/W.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈王丽华	香港理工大学应用物理系及材料研究中心	27	186	7.0	13.0
2	蔡忠龙	香港理工大学应用物理系及材料研究中心	12	69	4.0	8.0
3	李坤	香港理工大学应用物理系及材料研究中心	5	12	2.0	3.0
4	李金华	香港理工大学应用物理系及材料研究中心	2	28	2.0	2.0