微机械及纳米计量科学

• 作者: 叶孝佑 徐毅 王春艳 高思田
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微机械 微电子 纳米测量 精密仪器
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 面向21世纪计量测试理论与仪器专辑
• 页码范围: 272-274
• 页数: 3页
• 分类号: TG8|TH115
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2000.03.011

摘要

简要介绍用于MENs和微电子标准的纳米计量技术,并对其发展提出建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶孝佑		44	254	10.0	13.0
2	高思田		93	567	11.0	19.0
3	王春艳		12	61	4.0	7.0
4	徐毅		15	320	10.0	15.0