新一代微分析及微加工手段--聚焦离子束系统

• 作者: 江素华 王家楫 谢进
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 微分析 微加工 聚焦离子束
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 论文·研制报告
• 页码范围: 19-25
• 页数: 7页
• 分类号: TN307|TN405.98
• 字数: 6210字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2000.04.004

摘要

聚焦离子束(FIB)技术是90年代发展起来的具有微细加工和微分析组合功能的新技术.随着集成电路线宽的不断减小,集成度不断提高,该技术已在微电子工业中被广泛应用,其优势也日益显现.文中主要对FIB系统的构成作较为详尽的介绍,同时也涉及该技术的应用和发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王家楫	复旦大学国家微分析中心	25	114	6.0	9.0
2	江素华	复旦大学国家微分析中心	13	50	3.0	7.0
3	谢进	复旦大学国家微分析中心	7	73	5.0	7.0