旋转基板的激光测温

• 作者: 沈元华 陆思渊 马秀芳
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 激光测温 真空镀膜
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 3-7
• 页数: 5页
• 分类号: TN2
• 字数: 1720字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2000.03.001

摘要

激光测温是一种先进的温度测量方法.它具有测量准确、反应速度快、非接触等特点,尤其适用于测量真空镀膜中基板的温度.但目前的测温对象只能是固定的基板,因而还不完全实用.我们新发展了一种自动测温系统,可以对旋转基板的干涉条纹移动进行计数,从而实现了旋转基板的测温,使激光测温技术更具实用性.介绍了该系统的原理、设计并给出了一次实际测温的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马秀芳	复旦大学物理系	18	133	8.0	10.0
2	沈元华	复旦大学物理系	41	693	14.0	25.0
3	陆思渊	复旦大学物理系	1	8	1.0	1.0