分离靶多弧离子镀Nb-Al合金薄膜及其热腐蚀行为

• 作者: 张扬伟 李德俊 林国强 王富岗 王秀兰
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 分离靶 薄膜 热腐蚀 镀合金
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 专论
• 页码范围: 18-20
• 页数: 3页
• 分类号: TQ15
• 字数: 2145字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2000.04.008

摘要

采用分离靶多弧离子镀技术,通过改变基片负偏压和分离靶弧电流以及镀膜时间等参数,在310SS(stainless steel)基片上制备了多种成分的Nb1-xAlx(0.38＜x＜0.64)合金薄膜.结果表明,选择适当的基片负偏压和分离靶弧电流可制得所需成分的二元合金薄膜.对所制备的Nb1-xAlx薄膜,分别做了600℃、900℃的热腐蚀实验(低温热腐蚀和高温热腐蚀),热腐蚀实验表明,该薄膜具有较好的抗热腐蚀能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王富岗	大连理工大学材料工程系	50	470	12.0	19.0
2	李德俊	大连理工大学材料工程系	16	91	7.0	8.0
3	张扬伟	大连理工大学材料工程系	9	31	4.0	5.0
4	林国强	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	59	562	13.0	21.0
5	王秀兰	大连理工大学材料工程系	6	14	2.0	3.0