微结构谐振梁式压力传感器研究

• 作者: 崔大付 王利 陈德勇 韩泾鸿
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械加工硅梁谐振器谐振式压力传感器
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 目次
• 页码范围: 255-259
• 页数: 5页
• 分类号: TP21
• 字数: 2545字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2000.04.004

摘要

利用微电子机械加工技术成功地研制出电势激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器．传感器的谐振器的品质因素Q值大于17 000．采用扫描检测方式和闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性，其压力测试范围为0～400kPa，线性相关系数为0．999％，测试精度小于0．06％F．S．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩泾鸿	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	29	197	7.0	12.0
2	崔大付	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	77	974	17.0	27.0
3	王利	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	57	381	11.0	17.0
4	陈德勇	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	48	348	11.0	16.0