大尺寸硅镜超光滑表面加工的面型控制

• 作者: 孙龙 桑凤亭 焦彤 鞠玉玫 韩圣安 黄润兰
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 面型 超光滑 单晶硅 表面粗糙度 机械-化学抛光
• 年，卷（期）: 2000,（z1）
• 页码范围: 103-105
• 页数: 3页
• 分类号: TN248|TH744.5
• 字数: 3029字
• 语种: 中文

摘要

使用机械-化学抛光法加工大尺寸单晶硅可获超光滑表面,但很难保证良好的面型.提出通过采用开圆孔并连续注入抛光剂的方法来避免抛光盘中心蜂窝眼的出现,可以保证得到良好的面型.最后实验达到较好的面型精度,PV值0.268λ,rns值0.065λ.