高温热解聚硅烷制备SiC薄膜初探

• 作者: 傅鹤鉴 向少华 彭志坚 易春 谢茂浓
• 来源期刊: 广西师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 碳化硅 聚硅烷 热解
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: O793
• 字数: 1640字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-6600.2000.03.005

摘要

用组合成的可溶性聚硅烷1710A作涂膜材料,进行不同温度 的真空热解或高纯氮下热解实验.通过IR谱和XPS谱分析,在790～810 cm-1和 1 270 cm-1红外吸收特征峰分别对应Si-CH3摇摆振动和伸缩振动 吸收峰,XP-Si谱给出Si(2P)结合能为101.6 eV,CIS为284.3 eV, 证明有α-SiC∶H生成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢茂浓	四川大学物理系	11	57	3.0	7.0
2	傅鹤鉴	四川大学化学系	10	54	5.0	7.0
3	彭志坚	四川大学化学系	5	24	3.0	4.0
4	易春	四川大学物理系	2	6	2.0	2.0
5	向少华	四川大学物理系	1	3	1.0	1.0