行星夹具膜厚均匀性计算

• 作者: 张云洞 潘栋梁 熊胜明 王任华
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 均匀性 计算
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 277-280
• 页数: 4页
• 分类号: TH74
• 字数: 2324字
• 语种: 中文

摘要

建立了平板型和球面型行星夹具膜厚均匀性的计算模型.利用根据这些模型编制的计算程序计算了基板表面膜层厚度分布与蒸发源位置、蒸发源发射特性、夹具高度、行星轨半径以及行星夹具的倾角之间的关系.并得到了一组典型结果.