128×128硅衍射微透镜阵列的设计与制备

• 作者: 易新建 曾晓雁 李毅 蔡丽萍 陈思乡
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射光学 微透镜阵列 红外焦平面
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 510-514
• 页数: 5页
• 分类号: TN248|O43
• 字数: 3237字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2000.06.007

摘要

通过考虑互相关联的光学和工艺参数,设计了3～5 μm红外128×128硅衍射微透镜阵列.阵列中微透镜的孔径为100 μm,透镜F数为f/1.5,微透镜阵列的中心距为100 μm.采用多次光刻和离子束刻蚀技术在硅衬底表面制备衍射微透镜阵列.对实际的工艺过程和制备方法进行了讨论,对制备出的128×128硅衍射微透镜阵列的光学性能和表面浮雕结构进行了测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李毅	华中理工大学光电子工程系	5	40	4.0	5.0
2	易新建	华中理工大学光电子工程系	20	146	7.0	11.0
3	蔡丽萍	华中理工大学光电子工程系	2	7	2.0	2.0
4	陈思乡	华中理工大学光电子工程系	6	41	3.0	6.0
5	曾晓雁	华中理工大学光电子工程系	3	67	3.0	3.0