纳米SnO2薄膜的制备、结构和性能研究

• 作者: 季秉厚 宋淑芳 李明华
• 来源期刊: 内蒙古大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米SnO2薄膜 制备 结构 性能
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 页码范围: 376-379
• 页数: 4页
• 分类号: TMO484.4
• 字数: 2281字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1638.2000.04.008

摘要

在真空度为133.3 μPa时,用真空气相沉积方法在玻璃衬底上沉积SnO2薄膜.通过XRD、SEM等测试分析,研究了杂质掺杂及热处理前后的SnO2薄膜的结构、晶粒尺寸、电学特性以及不同工艺条件对薄膜性能的影响.结果表明,掺Bi有效地抑制了晶粒生长,提高了薄膜的稳定性.掺Bi后,薄膜的电学特性增强,而掺In、Cd则影响不大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李明华	内蒙古大学物理学系	21	50	4.0	5.0
3	宋淑芳	内蒙古大学物理学系	5	19	4.0	4.0
4	季秉厚	内蒙古大学物理学系	10	106	5.0	10.0