用激光散射法非接触在线检测表面粗糙度

• 作者: 王世华 秦龚龙 邱瑜
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 表面粗糙度 在线检测 光散射 半导体激光器
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 36-38
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 1911字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2000.04.013

摘要

介绍了基于光散射原理的激光测量装置非接触在线检测表面粗糙度的测量原理及测量头设计方案.调制光源、双光束、与测量光路同轴的高压喷气流、窄带滤波电路等设计可提高信噪比,增强抗干扰能力,可实现Ra2～100nm的表面粗糙度在线检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王世华		15	123	7.0	10.0
2	邱瑜		2	24	1.0	2.0
3	秦龚龙		1	24	1.0	1.0