(Ba0.7Sr0.3)TiO3铁电薄膜热敏电容器的研制

• 作者: 刘世建 徐重阳 曾祥斌 赵伯芳
• 来源期刊: 华中理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: BST铁电薄膜 热敏电容器 非致冷红外焦平面阵列 电容-温度曲线
• 年，卷（期）: 2000,（10）
• 页码范围: 70-71
• 页数: 2页
• 分类号: TN384
• 字数: 1664字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2000.10.024

摘要

采用射频磁控溅射法制备了用于非致冷红外焦平面阵列的 BST((Ba0.7Sr0.3)TiO3) 铁电薄膜热敏电容器.介绍了热敏电容器上下电极的选材和制备及铁电薄膜的制备工艺.根据热敏电容器的电容-温度曲线,分析了热敏电容器的工作原理.实验结果表明BST铁电薄膜热敏电容器可以工作在室温附近,约26?℃处.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐重阳	华中理工大学电子科学与技术系	33	239	9.0	14.0
2	曾祥斌	华中理工大学电子科学与技术系	8	34	3.0	5.0
3	赵伯芳	华中理工大学电子科学与技术系	7	39	4.0	6.0
4	刘世建	华中理工大学电子科学与技术系	1	7	1.0	1.0