脉冲激光制备薄膜材料的机理

• 作者: 关丽 张端明 李国栋 李智华 郁伯铭 钟志成 黄明涛
• 来源期刊: 中国科学A辑
• 学科: 物理学
• 关键词: 烧蚀率 固液相界面 烧蚀面 等离子体 KTN薄膜
• 年，卷（期）: 2001,（8）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 743-753
• 页数: 11页
• 分类号: O4
• 字数: 7551字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1006-9232.2001.08.011

摘要

给出脉冲激光作用块状靶材的烧蚀模型. 根据能量平衡原理，导出烧蚀面的位置随时间的变化关系. 利用绝热近似、温度连续性条件和能量平衡原理来获得烧蚀面与固液相界面边界条件. 结合热传导方程，利用精确解与积分近似法相结合的方案，给出固液两相的温度分布与时间和位置的变化关系，以及固液相界面的位置随时间的变化规律，并将理论结果与实验数据进行比较. 由流体动力学理论，得出了脉冲激光产生的等离子体的空间输运方程，将此方程与靶材烧蚀率公式结合起来，根据实验数据研究了不同激光功率密度和波长对KTN(KTa0.65Nb0.35O3)薄膜沉积特性的影响，得到了一些有价值的结果，并对结果进行了详细的讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李智华	华中科技大学物理系	19	171	8.0	12.0
2	张端明	华中科技大学物理系	44	322	10.0	16.0
3	郁伯铭	华中科技大学物理系	15	146	6.0	12.0
4	关丽	华中科技大学物理系	10	194	8.0	10.0
5	黄明涛	华中科技大学物理系	4	77	3.0	4.0
6	李国栋		2	28	1.0	2.0
7	钟志成		1	27	1.0	1.0