室温下用脉冲激光沉积E-BN薄膜

• 作者: 任志昂 张灿云 杨国伟 王金斌 钟向丽
• 来源期刊: 高压物理学报
• 关键词: E-BN薄膜 脉冲激光沉积 扫描电镜 红外吸收光谱 X射线衍射
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 297-300
• 页数: 4页
• 分类号: O78
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5773.2002.04.010

摘要

在利用等离子体增强脉冲激光沉积系统沉积立方氮化硼(cBN) 薄膜时,发现了氮化硼(BN)材料的E-BN相,并利用扫描电镜和红外吸收光谱及X射线衍射技术对薄膜样品进行了分析,得到了制备较高质量E-BN薄膜的一些热力学参数及时间参数,验证了现有的E-BN结构的形成理论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王金斌	湘潭大学物理系	37	88	5.0	8.0
2	杨国伟	湘潭大学物理系	28	144	6.0	11.0
3	任志昂	湘潭大学物理系	19	60	4.0	7.0
4	钟向丽	湘潭大学物理系	25	30	3.0	5.0
5	张灿云	湘潭大学物理系	3	12	2.0	3.0