纳米薄膜脉冲激光沉积技术

• 作者: 吴敢 李美成 杨建平 赵连城 陈学康
• 来源期刊: 宇航材料工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光沉积 纳米薄膜 激光分子束外延(L-MBE) 红外探测器
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-4,48
• 页数: 5页
• 分类号: TB383
• 字数: 3942字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2330.2001.04.001

摘要

简要介绍了脉冲激光薄膜沉积(PLD)技术的物理原理、独具的特点,并且介绍了在PLD基础上结合分子束外延(MBE)特点发展起来的激光分子束外延(L-MBE),以及采用L-MBE技术制备硅基纳米PtSi薄膜的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵连城	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	107	1153	16.0	29.0
2	陈学康	兰州物理研究所激光分子束外延技术实验室	24	197	7.0	13.0
3	杨建平	兰州物理研究所激光分子束外延技术实验室	8	89	4.0	8.0
4	吴敢	兰州物理研究所激光分子束外延技术实验室	7	35	4.0	5.0
5	李美成	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	29	200	8.0	13.0