氧化钒热敏薄膜的制备及其性质的研究

• 作者: 周进 李炳宗 梁平治 茹国平
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化钒,非致冷红外微测辐射热计,离子束溅射,电阻温度 系数,氮氢退火
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 页码范围: 291-295
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 3386字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2001.04.013

摘要

报道一种制备氧化钒热敏薄膜的新方法.采用离子束溅射V2O5粉末靶淀积和氮氢混合气体热处理相结合的薄膜技术,可制备热敏性能较好的低价氧化钒薄膜VOx(x＜2.5).对不同温度退火后氧化钒薄膜在10～100℃范围内测定了薄层电阻随温度的变化,得到的电阻温度系数(TCR)值为(-1～-4)%K-1.研究结果表明通过这种方法可在较低温度下制备氧化钒薄膜,这种薄膜具有较低的电阻率和较高的TCR 值,可作为非致冷红外微测辐射热计的热敏材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁平治	中国科学院上海技术物理研究所	28	252	9.0	15.0