固体介质气载超声换能器

• 来源期刊: 国外传感技术
• 学科: 工学
• 关键词: 固体介质 静电超声换能器 集成电路 传感器
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 98-103
• 页数: 6页
• 分类号: TP212

摘要

应用硅IC工艺开发出一种静电超声换能器，在30V直流偏压下，其效率在150kHz下为11.3dB/V，其灵敏度在10－130kHz下为0.47mV/pa，利用同样基片上的1×7阵元不实现电动扇形扫描。