Waveguide-surfatron型表面波等离子体源的特性研究

• 作者: 吴丛凤 周海洋 朱晓东 温小辉 詹如娟
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 波导型表面波 大面积均匀 等离子体源 表面波模
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 30-33
• 页数: 4页
• 分类号: O531
• 字数: 1728字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2001.01.008

摘要

报道了所研制的Waveguide-surfatron型表面波等离子体源的特性，理论计算表明，激发表面波模式为m≥l模，在放电室中电磁场均匀性与等离子体的密度有关。实验结果指出，采用Ar气放电，在气压为10～1000 Pa，微波功率800～1000 W的范围内可形成大面(体)积(直径为160 mm)等离子体，其电子温度为1～4 eV,等离子体密度为1010～1011 cm-3量级，实测的等离子体密度与理论计算值基本吻合。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	詹如娟		17	150	7.0	12.0
2	吴丛凤		16	26	3.0	4.0
3	温小辉		1	8	1.0	1.0
4	朱晓东		33	346	8.0	18.0
5	周海洋		8	51	5.0	7.0