MEMS系统级仿真建模理论与方法的研究

• 作者: 孙道恒 朱立秒 李文望 郑炜 黄元庆
• 来源期刊: 厦门大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 耦合场计算 系统级仿真
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 物理学*技术科学
• 页码范围: 297-302
• 页数: 6页
• 分类号: TH702
• 字数: 3824字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0438-0479.2001.02.017

摘要

实现集设计、加工及运行等整个过程的计算机仿真为一体的微机电系统的计算机辅助设计是微机电系统真正走向商品化的重要基础．系统级仿真是MEMS CAD最为关键的重要环节．概括了MEMS CAD的体系结构；着重介绍了适合于MEMS系统级仿真的两个基本模型的基本思想、构造方法．提出用加权残值法(MWR)建立MEMS系统级仿真模型；论述MEMS系统级仿真的MWR建模原理与方法．提出运用演化算法进行自动化、智能化建模的基本思想．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李文望	厦门大学机电工程系	12	125	6.0	11.0
2	孙道恒	厦门大学机电工程系	81	618	14.0	21.0
3	黄元庆	厦门大学机电工程系	96	1047	17.0	29.0
4	郑炜	厦门大学机电工程系	8	46	3.0	6.0
5	朱立秒	厦门大学机电工程系	5	49	2.0	5.0