MEMS耦合场分析与系统级仿真

• 作者: 孙道恒
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 多场耦合 系统级仿真 CAD
• 年，卷（期）: 2002,（9）
• 所属期刊栏目: 信息技术
• 页码范围: 765-768
• 页数: 4页
• 分类号: TP391.72|TH-39
• 字数: 3081字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2002.09.014

摘要

微机电系统的计算机辅助设计是MEMS真正走向市场的重要基础.耦合场分析与系统级仿真是MEMS CADCAD中2个最关键的环节.概括了MEMS CAD的体系结构;综述了耦合场计算的常用数值方法及应用范围;着重介绍了适合于MEMS系统级仿真的2个基本模型的基本思想、构造方法,分析了各自的优缺点,指出今后有待继续研究的几个问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙道恒		81	618	14.0	21.0