离子束辅助轰击下低能碳离子注入

• 作者: 周灵平 李德意 李绍禄 黄桂芳
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入 离子束 类金刚石碳薄膜
• 年，卷（期）: 2001,（12）
• 所属期刊栏目: 材料与表面处理
• 页码范围: 37-38
• 页数: 2页
• 分类号: TG17
• 字数: 1749字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2001.12.020

摘要

材料表面经离子束辅助轰击下低能碳离子注入工艺处理后,形成由碳注入层和类金刚石碳薄膜涂层组成的改性层,其中注入层深度比DIM工艺深1倍以上.40Cr钢表面改性后显微硬度HV 可提高20%～128%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周灵平	湖南大学材料科学与工程学院	48	322	11.0	16.0
2	李绍禄	湖南大学材料科学与工程学院	26	292	10.0	16.0
3	李德意	湖南大学材料科学与工程学院	44	411	11.0	19.0
4	黄桂芳	湖南大学材料科学与工程学院	37	236	9.0	13.0