微机电系统(MEMS)促进测量学发展

• 作者: 黄俊钦
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 MEMS 测量学
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 研究通讯和短文
• 页码范围: 107-110
• 页数: 4页
• 分类号: TH7
• 字数: 3488字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2001.01.030

摘要

本文从纳米、超微角位移测量,及力学、声学、医学测量诸方面说明MEMS促进测量学的发展。通过所举范例,可以看出MEMS在各方面促进测量学发展及其深远的科学意义。其中超微角位移测量的构想以往资料未见,是创新。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄俊钦		10	150	6.0	10.0