双面接触式电容压力传感器的设计及制造工艺流程

• 作者: 李志博 胡国清 许高攀 陈广文
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 双面接触式电容压力传感器 原理 工艺流程 自停止腐蚀
• 年，卷（期）: 2001,（9）
• 所属期刊栏目: 工艺与设备
• 页码范围: 33-35
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2358字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2001.09.013

摘要

双面接触式电容压力传感器除了具有单面接触式电容压力传感器的优点,还有它的特别之处:双面接触式电容压力传感器被施加同样的压力时,可以得到比单面接触式电容压力传感器增大一倍的电容量和灵敏度,而且不会因此增加多少成本;工作时可靠性更高,即使一面失灵还有另一面可以正常工作.文中就双面接触式电容压力传感器的工艺进行了初步设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡国清	厦门大学机电工程系	61	929	15.0	29.0
2	陈广文	厦门大学机电工程系	4	34	3.0	4.0
3	许高攀	厦门大学机电工程系	6	86	5.0	6.0
4	李志博	厦门大学机电工程系	2	15	2.0	2.0