微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的研究

• 作者: Yin Fuliang 仲崇权 庞济 沈月婷 牛德芳
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 双杯平面复合差动电容传感器
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 4-5,20
• 页数: 3页
• 分类号: TM93
• 字数: 2366字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2001.01.002

摘要

文中介绍一种新式微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的结构设计、工作原理及加工工艺，同时，对传感器的硬件电路、软件设计也作简要说明，并通过实验测试结果反映其结构的新颖性和设计的合理可行性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛德芳	殷福亮大连理工大学电子信息工程学院	1	3	1.0	1.0
2	沈月婷	殷福亮大连理工大学电子信息工程学院	1	3	1.0	1.0
3	庞济	殷福亮大连理工大学电子信息工程学院	1	3	1.0	1.0
4	仲崇权	殷福亮大连理工大学电子信息工程学院	1	3	1.0	1.0