压电式微位移机构的现状与趋势

• 作者: 吕召全 沈健 赵韩
• 来源期刊: 现代机械
• 学科: 工学
• 关键词: 压电材料 微位移 机构
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 33-35,52
• 页数: 4页
• 分类号: TH13
• 字数: 2965字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-6886.2001.04.002

摘要

在精密和超精密加工与测量、大规模集成电路制造、微型机械制造、扫描隧道显微镜微测量以及精密光学工程等诸多尖端科技领域中,当运动分辩率达到亚微米级或纳米级时,压电式微位移机构在微进给定位上体现出了自身的优势.本文在介绍压电材料驱动原理的基础上,重点介绍了国内外压电式微位移机构的研究现状和一些典型样机.比较了压电式微位移机构的特点,提出了压电式微位移机构研究方向和应用趋势及应注重的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵韩		456	5988	35.0	54.0
2	沈健		81	492	11.0	17.0
3	吕召全		2	55	2.0	2.0