新型LIGA掩模板制造工艺研究

• 作者: 伊福廷 张大成 朱军 王水 陈迪 雷蔚
• 来源期刊: 高能物理与核物理
• 学科: 物理学
• 关键词: LIGA掩模板 ICP深刻蚀 LIGA技术
• 年，卷（期）: 2001,（z1）
• 所属期刊栏目: LIGA
• 页码范围: 131-134
• 页数: 4页
• 分类号: O57
• 字数: 1791字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3052.2001.z1.027

摘要

LIGA掩模板的制备是LIGA技术中的关键工艺,利用最近发展起来的硅感应耦合等离子体(ICP)深层刻蚀工艺开发出了新型LIGA掩模板.与其它类型的LIGA掩模板相比,该掩模板具有加工工艺简单、价格低廉等优点.利用该LIGA掩模板进行了LIGA技术的研究,得到了比较理想的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈迪	上海交通大学微纳米科学技术研究院	38	301	8.0	16.0
2	朱军	上海交通大学微纳米科学技术研究院	52	663	14.0	25.0
3	张大成	北京大学徽电子所	43	793	13.0	27.0
4	伊福廷	中国科学院高能物理研究所	38	150	6.0	10.0
5	雷蔚	上海交通大学微纳米科学技术研究院	2	20	1.0	2.0
6	王水	上海交通大学微纳米科学技术研究院	1	1	1.0	1.0