缩小投影电子束曝光原理论证机

• 作者: 吴桂君 张福安 彭开武 顾文琪
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 缩小投影电子束曝光 透射电镜 微细加工
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 6-11
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 4187字
• 语种: 中文

摘要

系统阐述了缩小投影(或纳米投影)电子束曝光技术的原理,以及如何将一台透射电镜改装为原理论证机的主要过程.内容包括机械结构的变动、电子光路的选择、调焦及曝光、成像系统的逐步演化、实验曝光结果与结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭开武		1	5	1.0	1.0
2	顾文琪		1	5	1.0	1.0
3	吴桂君		1	5	1.0	1.0
4	张福安		1	5	1.0	1.0