基于数学形态学的集成电路真实缺陷图像滤波

• 作者: 王俊平 郝跃 铁满霞
• 来源期刊: 西安电子科技大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 缺陷图像 数字形态学 集成电路
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 211-214
• 页数: 4页
• 分类号: TP391.41|TN305
• 字数: 2076字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2400.2001.02.019

摘要

在集成电路真实缺陷检测中，缺陷图像的滤波程度直接影响到后续处理的结果．通过对若干幅实际集成电路真实缺陷图像的分析，提出一种基于数学形态学的集成电路真实缺陷图像滤波方法，该方法不仅能滤除非冗余物缺陷，而且能滤除冗余物缺陷内部噪声，得到纹理一致的冗余物缺陷．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝跃	西安电子科技大学微电子所	312	1866	17.0	25.0
2	王俊平	西安电子科技大学通信工程学院	31	284	10.0	16.0
3	铁满霞	西安电子科技大学通信工程学院	9	56	4.0	7.0