在线检测超精细表面微观形貌的激光轮廓仪

• 作者: 周卫东 周肇飞 张涛 李文杰
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光轮廓仪 实时测量 表面测量
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: TG84
• 字数: 3090字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2001.02.003

摘要

介绍一种可用于在线和在位检测的高分辨力激光轮廓仪。此仪器具有很 高的共模 抑制比和同类型仪器中最小的形状误差。分辨力优于0.2nm（Ra）。可以摆放在金刚 石车床的刀架上测量超精密加工表面微观形貌。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张涛	四川大学激光应用技术研究所	178	773	14.0	19.0
2	周肇飞	四川大学激光应用技术研究所	37	432	12.0	20.0
3	李文杰	四川大学激光应用技术研究所	5	28	3.0	5.0
4	周卫东	四川大学激光应用技术研究所	1	8	1.0	1.0