真空自励研磨抛光工艺的研究

• 作者: 周军 周德俭 张忠玉 王权陡
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 真空自励抛光盘 超薄镜 抛光 数字控制
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与技术
• 页码范围: 238-241
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171.684
• 字数: 1576字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2001.03.009

摘要

详细地阐述了真空自励研磨抛光盘的工作方式、基本原理,并在对120×120mm厚径比小于1/60的超薄镜面实际加工中,成功解决了磨头自身重力对工件变形的影响,降低了元件在加工中支撑要求,有效地解决了超薄元件的数控加工难题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周德俭	驻二二八厂军代表室	3	16	2.0	3.0
2	周军	驻二二八厂军代表室	2	8	1.0	2.0