厚膜电容式集成压力传感器感压元件研究

• 作者: 虞学犬 马以武
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 厚膜电容式集成压力传感器
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TP21
• 字数: 3031字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2001.03.001

摘要

采用厚膜技术研制新型电容式集成压力传感器用感压元件。具有抗干扰能力强，灵敏度高，受分布电容、寄生电容影响小，耐腐蚀，耐高温的特点。文中主要介绍其电容式感压元件的原理、设计，并对非线性等相关技术及工艺问题进行了探讨。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马以武	中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室	23	62	5.0	7.0
2	虞学犬	中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室	3	9	2.0	3.0