基于立体成型法的微激励器静态特性分析

• 作者: 于殿泓 卢秉恒 山本昌彦 李涤尘 郭俊杰
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 微激励器 立体成型 静电力 稳定平衡
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 47-50
• 页数: 4页
• 分类号: TP212|TH7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2001.01.011

摘要

介绍了一种新型的微细加工方法,即微型立体成型法以及基于这种方法制造微型电容式激励器的工序步骤,详细分析了该激励器在静电力作用下的静态特性,导出了可动极板处于稳定平衡时的条件及在此条件下的线位移范围,给出了驱动电压与可动极板位移量之间的关系曲线,用所制作的微激励器对上述推证结果进行了实验验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李涤尘		2	16	2.0	2.0
2	卢秉恒		2	16	2.0	2.0
3	于殿泓		1	2	1.0	1.0
4	郭俊杰		1	2	1.0	1.0
5	山本昌彦		1	2	1.0	1.0