用双源蒸发台制作混合电路用的Cr·SiO薄膜电阻器

• 作者: 赵亚民
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: 双源蒸发台 薄膜电阻器 混合电路 铬 氧化硅
• 年，卷（期）: 2001,（10）
• 页码范围: 36-38
• 页数: 3页
• 分类号: TM544

摘要

本文简要介绍使用钟罩型真空镀膜机和双源蒸发工艺制作高质量Cr·SiO薄膜电阻器的探索与实践，结果表明，这是一种基于原有设备的具有工艺简单稳定、流程短而效率较高的实用新工艺，完全可以替代原有工艺而投入生产。

作者信息

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1	赵亚民		2	0	0.0	0.0