微波电路用共面电极TaNx薄膜片式电阻器

• 作者: 冯毅龙 杨俊锋 程超 赵海飞
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: TaNx 共面电极 薄膜片式电阻器
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 55-58
• 页数: 4页
• 分类号: TM54
• 字数: 2443字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2009.08.016

摘要

采用反应溅射方法制作TaNx电阻薄膜,并通过溅射Ni、Au形成双层共面电极.研究了溅射条件对电阻薄膜组分的影响以及此类电阻器的微波特性.结果显示,溅射工作真空度小于0.5 Pa,氮气体积分数大于5%时,可以得到阻值稳定的六方晶体结构TaNx电阻薄膜,其共面电极的电阻器使用频率上限大于20 GHz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程超		2	3	1.0	1.0
2	赵海飞		2	3	1.0	1.0
3	冯毅龙		2	3	1.0	1.0
4	杨俊锋		1	0	0.0	0.0