电容式压力传感器的厚膜集成化研究

• 作者: 虞学犬 马以武
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 集成化 厚膜 电容式 压力传感器
• 年，卷（期）: 2001,（11）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TP211+.4
• 字数: 4793字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2001.11.001

摘要

采用厚膜传感技术研制电容式感压元件,并通过厚膜混合集成技术将信号处理电路集成在感压元件上成为一体,进行电容式压力传感器的厚膜集成化研究.结果表明:研制成的新型厚膜电容式集成压力传感器,线性达到0.5%,迟滞小于0.5%,具有重复性好、受分布电容、寄生电容影响小、精度高、抗过载、耐腐蚀等特点.对厚膜感压元件、信号处理电路的设计与平面化加工以及集成化等进行了介绍,并对集成化中相关工艺、兼容性及性能进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马以武	中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室	23	62	5.0	7.0
2	虞学犬	中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室	3	9	2.0	3.0