高精度燕尾导轨面气浮检测方法

• 作者: 战伟国
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 气浮检测 节流孔 气隙槽 模拟工作检测法
• 年，卷（期）: 2001,（10）
• 所属期刊栏目: 仪器仪表与检测
• 页码范围: 42-44
• 页数: 1页
• 分类号: TH86
• 字数: 975字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2001.10.021

摘要

通过对高精度燕尾导轨面平面度的检测方法分析,引入模拟工作检测法的气浮检测的思路,并介绍气浮检测结构的设计要点和检验数据处理方法.