超精密气浮平台的定位精度分析

• 作者: 何学明 余显忠 曾理湛 陈学东
• 来源期刊: 华中科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 气浮平台 超精密 定位精度 滑模控制器
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 机械与材料工程
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TH133.36
• 字数: 2884字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2008.03.003

摘要

针对超精密定位平台的高精度要求,以及气浮轴承的刚度和阻尼相对于气膜厚度的变化存在明显的非线性特性,在分析超精度气浮定位平台的基础上,建立了气浮定位平台直线运动的数学模型和基于滑模控制器(SMC)的系统控制模型,并进行了参数分析和实验研究.结果表明:气浮刚度的增大和阻尼的存在有利于改善平台的定位精度,SMC具有较好的鲁棒性,在受外界干扰较大且存在较大非线性情况下,定位平台仍能达到较好的定位精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈学东	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	56	741	16.0	24.0
2	余显忠	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	10	90	6.0	9.0
3	何学明	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	7	93	5.0	7.0
7	曾理湛	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	10	88	5.0	9.0