纳米级超精密气浮工件台振动特性分析

• 作者: 何学明 余显忠 陈学东 鲍秀兰
• 来源期刊: 华中科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密气浮工作台 振动 气固耦合 动力学 仿真
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TH161
• 字数: 2218字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2007.11.002

摘要

针对超精密气浮工件台的振动特性展开研究,提出了一种气固耦合的仿真处理方法.采用在气浮孔中施加对地弹簧的方法来模拟气浮系统,建立了工件台系统的动力学模型,推导出了系统的振动方程,对振动特性进行了求解和分析,得到了系统的固有频率和振型,对系统的结构刚度有了一个较为准确的估计.仿真结果表明振动对工件台定位精度影响很小,但会给测量造成一些误差.由仿真辨识出了气浮引起的振动频率范围,为系统的进一步优化提供了理论依据.通过试验证明了仿真模型的正确性和精确程度,并由试验结果证实了由气浮产生的振动远小于由系统结构引起的振动.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈学东	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	56	741	16.0	24.0
2	余显忠	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	10	90	6.0	9.0
3	何学明	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	7	93	5.0	7.0
4	鲍秀兰	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	1	17	1.0	1.0