利用双束技术制备纳米锆氧化物薄膜的研究

• 作者: 杨斌 汪德志 雷家荣 黄宁康
• 来源期刊: 四川大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 双离子束技术 锆氧化物 纳米晶粒
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 页码范围: 852-855
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1474字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0490-6756.2001.06.017

摘要

作者采用离子束溅射沉积Zr的同时,进行氧离子的轰击,随着注入离子束流密度的变化,所形成的锆氧化物薄膜从非晶态向晶态转化,其形成的晶态薄膜为纳米量级范围内的微晶.实验发现,衬底不同对形成纳米锆氧化物的临界氧离子束流密度也不同.作者还对纳米晶粒的相结构及其化学组成进行了相应的分析.